![]() 金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法
专利摘要:
本発明は、アルミニウム箔(foil)などの金属箔を利用して、3次元形状構造物の表面に疏水特性が与えられるように形成させる3次元形状構造物の製造方法に関するものである。特定形状構造物の外面に金属箔(foil)を付着させて金属箔基材を用意する金属箔段階、金属箔基材を陽極酸化加工する陽極酸化段階、金属箔基材の外面に非ぬれ性高分子物質をコーティングすることによって陰極複製構造物を形成する陰極複製段階、陰極複製構造物の外面を外部形成物質で囲む外部構造物形成段階、及び金属箔基材を除去する金属箔除去段階を含む。 公开号:JP2011513103A 申请号:JP2010550598 申请日:2009-03-12 公开日:2011-04-28 发明作者:キム,ジョン−ウォン;キム,ドン−ソ;パク,ヒュン−チュル;リー,カン−ホン;リー,サン−ミン;リー,ビョン−ジュ;リム,クン−ベ;ワン,ウーン−ボン 申请人:ポステック アカデミー−インダストリー ファンデーション; IPC主号:B29C67-00
专利说明:
[0001] 本発明は、疏水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法に関するものであって、より詳しくは、アルミニウム箔(foil)などの金属箔を利用して、3次元形状構造物の外部表面に疏水特性が与えられるように形成させる3次元形状構造物の製造方法に関わる。] 背景技術 [0002] 一般に、金属やポリマーなどの固体基材の表面は固有の表面エネルギーを有している。これは任意の液体が固体基材に接触する時、液体と固体の間の接触角で現れる。ここで、液体は水または油などの種類を通称するが、以下では、液体の中でも最も代表的な水を言及して説明する。接触角度の大きさが90°より小さい場合には、球形状の水滴が固体表面でその形態を失い、表面を浸す親水性(親水性、hydrophilicity)特性を示す。反面、接触角度の大きさが90°より大きい場合には、球形状の水滴が固体表面で球の形状を維持しつつ、表面を浸さずに外部力によって容易に流れる疏水(疎水、hydrophobicity)特性を示す。その例として、ハスの花葉の上に水滴が落ちた場合、ハスの花葉を浸さずに表面を流れる現象が疏水特性である。] [0003] 固体基材の表面が有する固有の接触角は、その表面が微細な凹凸形状を有するように加工するとその値が変化することができる。つまり、接触角が90°より小さい親水性表面は、表面加工を通して親水性がもっと大きくなることができ、接触角が90°より大きい疎水性表面も表面加工を通して疎水性がもっと大きくすることができる。このような固体基材の疎水性表面は多様な応用が可能である。疎水性表面を配管構造物に適用すれば、配管内部を流動する液体の滑りがさらに容易になるので、その流量と流速が増加する。これによって、疎水性表面は水道管またはボイラー配管に適用する際、従来に比べて異物が積もることをより著しく減少させる。そして、疎水性表面は、非ぬれ性高分子物質が利用されれば配管内面での腐蝕が防止されるので、水質汚染も減少させることができる。] [0004] しかしながら、任意の用途のために固体表面の接触角を変化させる技術は、現在まで半導体製造技術を応用したMEMS(Micro electro mechanical Systems)工程であって、固体表面をマイクロあるいはナノ単位の微細な凹凸に形成する。このようなMEMS工程は半導体技術を機械工学的に応用した先端の技術であるが、半導体工程は非常に高価の費用が所要される。つまり、MEMS工程は固体表面にナノ単位の凹凸を形成しようとする場合、金属表面の酸化、一定の温度と一定の電圧の印加、特殊な溶液での酸化及びエッチングなどの作業を行う。このようなMEMS工程は一般的な作業環境で行うことができない作業であるため、特別に製作された清浄室で行わなければならず、これに必要な専用機械も高価の装備であるためである。また、MEMS工程は半導体工程の特性上、広い表面を一回に処理できないという点もまた短所として作用する。] [0005] このように従来の存疎水性表面を形成する技術はその工程が非常に複雑であり大量生産が難しく、高い製作費用によりその適用自体が容易ではなかった。] 発明が解決しようとする課題 [0006] 本発明は、先に説明したように従来の問題点を解決するために提案されたものであって、従来に比べて相対的に単純化された段階から行われることによって大量生産が可能である疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法を提供することにその目的がある。] [0007] また、本発明は、疎水性表面を有する3次元形状構造物を製造するとしても、日常生活の中で容易に入手できるアルミニウム箔などの材料を利用して、より容易に疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法を提供することに他の目的がある。] 課題を解決するための手段 [0008] 本発明の実施例による疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法は、特定形状構造物の外面に金属箔(foil)を付着させて金属箔基材を用意する金属箔段階、前記金属箔基材を陽極酸化加工して、前記金属箔基材の外面に微細ホールを形成する陽極酸化段階、前記金属箔基材の外面に非ぬれ性高分子物質をコーティングして、前記非ぬれ性高分子物質を前記金属基材の微細ホールに対応する陰極複製構造物に形成する陰極複製段階、前記陰極複製構造物の外面を外部形成物質で囲む外部構造物形成段階、及び前記陰極複製構造物と前記外部形成物質から前記金属箔基材を除去する金属箔除去段階を含む。] [0009] 本発明の実施例による前記金属箔は、アルミニウム素材からなる薄い薄膜形態のアルミニウム箔である。] [0010] 本発明の実施例は、前記金属箔と前記特定形状構造物の表面に前記金属箔を付着する過程において、面と面の間の空間へ空気が流入しないように前記金属箔を順次に圧着させる。] [0011] 本発明の実施例は、前記特定形状構造物を電解質溶液内で電解研磨(electropolishing)を行って前記特定形状構造物の表面を平坦化させる。] [0012] 本発明の実施例による前記陽極酸化段階は、電解質溶液が満たされた陽極酸化装置に前記金属基材を浸漬した後、前記金属基材に電極を印加させることによって前記微細ホールを有する陽極酸化層を形成する。] [0013] 本発明の実施例による前記陰極複製段階は、前記非ぬれ性高分子物質が前記金属基材の微細ホールに注入されて、前記陰極複製構造物が前記微細ホールに対応する複数個の柱を備える。] [0014] 本発明の実施例による前記非ぬれ性高分子溶液は、PTFE(Polytetrahluorethylene)、FEP(Fluorinated ethylene propylene copoymer)、PFA(Perfluoroalkoxy)からなる群より選択された少なくともいずれか一つの物質である。] [0015] 本発明の実施例は、前記金属箔基材を化学的なエッチングによって除去する。] 発明の効果 [0016] 本発明の実施例による3次元形状構造物の製造方法は、3次元形状構造物の内部表面または外部表面に疎水性を付与させられつつ、従来のMEMS工程で必要とする高価の装備を使用しないのでその製作費用も相対的に安く、その工程も単純であるという長所がある。] 図面の簡単な説明 [0017] 本発明の第1実施例による疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法を示したフローチャートである。 図1に示された疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法で各段階をイメージ化して示した概略図であって、特定形状構造物を示した概略図である。 図2に示された特定形状構造物に金属箔を付着させる状態を示した概略図である。 図3に示された金属箔基材の表面に陽極酸化層が形成された状態を示した概略図である。 図4に示された金属箔基材の表面に対応する陰極複製構造物が形成された状態を示した概略図である。 図5に示された陰極複製構造物の外面に外部形成物質が付着された状態を示した概略図である。 図6に示された金属箔基材と陽極酸化層が除去されて、陰極複製構造物と外部形成物質で形成された状態を示した概略図である。 図2に示された特定形状構造物に金属箔を囲む様子を形状化して示した概略図である。 図4に示された金属箔基材を陽極酸化させる陽極酸化装置を示した概略図である。 図9に示された金属箔基材を陽極酸化処理した後で陽極酸化層に微細ホールが形成されている様子を拡大して示した図である。 図5に示された陽極酸化層の微細ホールに対応する陰極形状を複製する陰極複製装置を示した概略図である。 図11に示された線VII-VIIに沿って陰極複製装置を切断して、示した断面図である。 本発明の第1実施例において、金属箔に陽極酸化を行う前と後を各々示した写真である。 図13に示された金属箔の表面を拡大して示した写真である。 図14に示された金属箔の表面を陰極複製した後で液体の接触角を実験した写真である。] 図1 図11 図14 図2 図3 図4 図5 図6 図9 [0018] 以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について本発明が属する技術分野にて通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明はの多様な相違した形態に具現でき、ここで説明する実施例に限られない。] [0019] 図1は、本発明の第1実施例による疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法を示したフローチャートである。] 図1 [0020] 図1に示されているように、本発明の実施例による疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法は、金属箔段階(S1)、陽極酸化段階(S2)、陰極複製段階(S3)、外部構造物形成段階(S4)、及び金属箔除去段階(S5)を行う。このような段階を行うことによって、本発明の実施例は、従来のMEMS工程に比べて単純でありつつ、相対的に廉価の製作費用で疎水性表面を有する構造物を製造することができる。さらに、本発明の実施例は、このような製造段階によって3次元形状構造物の内部表面または外部表面にも疏水特性が与えられるように構造物を製造することができる。] 図1 [0021] 図2乃至図7は、図1に示された疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法によって各段階別製造工程を各々イメージ化して示した概略図であって、図2は、特定形状構造物を示した概略図である。] 図1 図2 図7 [0022] 図2に示されているように、本発明の実施例に使用される特定形状構造物101は円筒形状の物体であって、配管(pipe)構造物の内面に疏水特性を付与するための用途に使用される。本発明の実施例は、事前用意作業として過塩素酸(perchloricacid)とエタノール(ethanol)を1:4の体積比に混合した溶液に特定形状構造物101を浸漬した後、電解研磨(electropolishing)を行って特定形状構造物101の表面を平坦化させる。] 図2 [0023] 図8は、図2に示された特定形状構造物に金属箔を囲む様子を形状化して示した概略図である。] 図2 図8 [0024] 図1、図3、及び図8に示されているように、本発明の実施例は、金属箔110を特定形状構造物101の表面に付着させる金属箔段階を行う(S1)。本発明の実施例は、特定形状構造物101の表面に金属箔110が付着された構造物を“金属箔基材”と称す。金属箔段階(S1)は金属箔110として、日常生活の中で幅広く使用されているアルミニウム箔を利用する。アルミニウム箔はアルミニウム素材で製作された薄い薄膜形態の製品である。そして、金属箔段階(S1)は、金属箔110と特定形状構造物101の表面に金属箔110を付着する過程において、面と面の間に空気が流入しないように金属箔110を順次に圧着させるのが望ましい。] 図1 図3 図8 [0025] 図9は、図4に示された金属箔基材を陽極酸化させる陽極酸化装置を示した概略図である。] 図4 図9 [0026] 図1、図4、及び図9に示されているように、本発明の実施例は、金属箔基材を陽極酸化加工(anodizing)して、金属箔基材の外面に微細ホール(hole)を形成する陽極酸化段階を行う(S2)。陽極酸化段階は、金属箔基材を電解質溶液23に浸漬した後で電極を印加させることによって、金属箔基材の表面に陽極酸化層120を形成する。] 図1 図4 図9 [0027] このために、本発明の実施例は図9に示された陽極酸化装置20を利用する。陽極酸化装置20は、陽極酸化用本体21の内部受容空間に電解質溶液23;例えば、0.3Mのシュウ酸C2H2O4または燐酸)が一定量満たされ、、この電解質溶液23に金属箔基材が入る。陽極酸化装置20は電源供給部25を備えるが、金属箔基材は、電源供給部25の正極または陰極のうちのいずれか一つに連結され、白金素材の他の金属基材26は電源供給部25の他の残りの極性に連結される。ここで、他の金属基材26は、電源印加が可能な伝導体であればその素材が限られない。実験条件として、金属箔基材と異なる金属基材26は設定された距離(例えば、50mm)に維持されつつ、電源供給部25は設定された定電圧(例えば、60V)を印加するようになる。この時、電解質溶液23は一定の温度(例えば、15°C)下で維持されるが、溶液濃度の局部的な偏向を防止するために撹拌機(stirrer)で攪拌する。そうすれば、金属箔基材の表面には陽極酸化層120としてアルミナが形成される。このように陽極酸化を行った後には金属箔基材を電解質溶液23から取り出し、脱イオン水で洗浄した(例えば、約15分間)後、設定された温度(例えば、60°C)のオーブンで一定時間(例えば、約1時間)乾燥させる。 そうすると、金属箔基材の陽極酸化層120には、図10に示されているようにナノメートル単位直径を有する微細ホール121が形成される。] 図10 図9 [0028] 図11は、図5に示された陽極酸化層の微細ホールに対応する陰極形状を複製する陰極複製装置を示した概略図であり、図12は、図11に示された線VII-VIIに沿って陰極複製装置を切断して示した断面図である。] 図11 図12 図5 [0029] 図1、図5、図11、及び図12に示されているように、本発明の実施例は、金属箔基材の外面に相当する陽極酸化層120に非ぬれ性高分子物質をコーティングする。そうすると、非ぬれ性高分子物質は陽極酸化層120の微細ホール121に対応する陰極複製構造物130に形成される。つまり、本発明の実施例は、金属箔基材の表面に陰極複製構造物130を形成する陰極複製段階を行う(S3)。] 図1 図11 図12 図5 [0030] 本発明の実施例は、ナノスケールの微細ホール121が形成された金属箔基材を複製用枠(template)として備え、陽極酸化段階(S2)を行うために図11及び図12に示された陰極複製装置30を利用する。陰極複製装置30は、陰極複製用本体31と、陰極複製用本体31内に一定の受容空間を有する受容部32、受容部32に受容される非ぬれ性高分子溶液33、及び陰極複製用本体31の側面に沿って備えられ、受容部32の非ぬれ性高分子溶液33が固体化するように凝固させる冷却部34を備える。] 図11 図12 [0031] 陰極複製装置30は、金属箔基材が複製用枠として非ぬれ性高分子溶液33に入られ、こういう金属箔基材の陽極酸化層120に非ぬれ性高分子物質をコーティングさせる。つまり、非ぬれ性高分子溶液33は陽極酸化層120の微細ホール121に注入され、陰極複製装置30の冷却部34が作動することによって金属箔基材の周縁に接する非ぬれ性高分子物質が凝固する。このように本発明の実施例は、陽極酸化層120の外面に非ぬれ性高分子物質をコーティングさせることによって、微細ホール121の形状に対応する陰極の形状表面を有する陰極複製構造物130を形成させる。つまり、陰極複製構造物130は微細ホール121に対応する陰極の形状表面であるので、微細ホール121に各々対応して複数個の柱を備えるようになる。 ただし、非ぬれ性高分子溶液33は、PTFE(Polytetrahluorethylene)、FEP(Fluorinated ethylene propylene copoymer)、PFA(Perfluoroalkoxy)からなる群より選択された少なくともいずれか一つの物質からなる。] [0032] 次の段階として本発明の実施例は、図6に示されているように、陰極複製構造物130の外面を外部形成物質140に囲む外部構造物形成段階を行う(S4)。外部形成物質140は粘着性を有する素材として、陰極複製構造物130の屈曲した外面に付着するように柔軟な(flexible)特性を有する。特に、本発明の実施例は、疎水性内部表面を有する配管構造物の製作方法を例として説明しているので、配管材料に用いられるアクリルフィルムを円柱形状の金属箔基材の円周面に囲む。外部形成物質140はアクリルフィルムだけでなく、多様な他の素材が用いられることができる。] 図6 [0033] 次の段階として本発明の実施例は、陰極複製構造物130と外部形成物質140から陽極酸化層120が形成された金属箔基材を除去する(S5)。この時、金属箔基材より特定形状構造物101は金属箔110から容易に分離することができるので、圧出などの機械的な方式によって分離除去される。そして、金属箔110と陽極酸化層120は特定形状構造物101を除去した後で湿式エッチングによって除去する。] [0034] 本発明の実施例はこのような段階を行うことによって、図7に示されているように陰極複製構造物130と外部形成物質140が残るようになる。前述の通り、陰極複製構造物130はその内部表面に複数個の微細な柱が形成されて、ナノスケールの構造を共に有する疎水性表面が形成される。つまり、陰極複製構造物130は、内部表面がハスの花葉と同じ断面構造からなることによってぬれ性が最小化された疎水性表面性質を有するようになり、これによって液体との接触角が160°以上で極度に高くなることができる。] 図7 [0035] 以下、本発明の実施例によって製造された3次元形状構造物の疏水特性を説明する。 金属箔はアルミニウム素材からなる箔を使用する。このようなアルミニウム箔は、厚さが27μmであり、その大きさが3.5cm×5cmである。アルミニウム箔は特定形状構造物に付着されて金属箔基材として形成される。このように形成された金属箔基材は0.3Mのシュウ酸溶液で13時間陽極酸化が行われた。] [0036] アルミニウム箔は、図13に示された写真のように、陽極酸化を行う前(a)と後(b)が視覚的にも明確に区別された。図14は、図13に示された金属箔の表面を拡大して示した写真であって、アルミニウム箔に微細ホールが形成されていることが確認された。 その後では、陽極酸化を行ったアルミニウム箔に非ぬれ性高分子物質をコーティングすることによって陰極複製構造物を形成し、外部形成物質を付着した。次に、陰極複製構造物の表面で液体との接触角を実験した結果、図15に示された写真のように、液体との接触角が160°以上で極度に高くなったことが確認された。] 図14 図15 実施例 [0037] 以下、本発明の望ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して行うのが可能であり、これもまた本発明の範囲に属する。] [0038] 20陽極酸化装置 30陰極複製装置 100 3次元形状構造物 101特定形状構造物 110金属箔 120陽極酸化層 130陰極複製構造物 140 外部形成物質]
权利要求:
請求項1 特定形状構造物の外面に金属箔(foil)を付着させて、金属箔基材を用意する金属箔段階;前記金属箔基材を陽極酸化加工して、前記金属箔基材の外面に微細ホールを形成する陽極酸化段階;前記金属箔基材の外面に非ぬれ性高分子物質をコーティングして、前記非ぬれ性高分子物質を前記金属基材の微細ホールに対応する陰極複製構造物に形成する陰極複製段階;前記陰極複製構造物の外面を外部形成物質で囲む外部構造物形成段階;及び前記陰極複製構造物と前記外部形成物質から前記金属箔基材を除去する金属箔除去段階;を含む、金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項2 前記金属箔はアルミニウム素材からなる薄い薄膜形態のアルミニウム箔であることを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項3 前記金属箔と前記特定形状構造物の表面に前記金属箔を付着する過程において、面と面の間の空間へ空気が流入しないように前記金属箔を順次に圧着させることを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項4 前記特定形状構造物を電解質溶液内で電解研磨(electropolishing)を行って前記特定形状構造物の表面を平坦化させることを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項5 前記陽極酸化段階は、電解質溶液が満たされた陽極酸化装置に前記金属基材を浸漬した後、前記金属基材に電極を印加させることによって前記微細ホールを有する陽極酸化層を形成することを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項6 前記陰極複製段階は、前記非ぬれ性高分子物質が前記金属基材の微細ホールに注入されて、前記陰極複製構造物が前記微細ホールに対応する複数個の柱を備えることを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項7 前記非ぬれ性高分子溶液は、PTFE(Polytetrahluorethylene)、FEP(Fluorinatedethylenepropylenecopoymer)、PFA(Perfluoroalkoxy)からなる群より選択された少なくともいずれか一つの物質であることを特徴とする、請求項4に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。 請求項8 前記金属箔基材を化学的なエッチングによって除去することを特徴とする、請求項1に記載の金属箔を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法。
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同族专利:
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引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题 JP2000062340A|1998-03-31|2000-02-29|Agfa Gevaert Nv|平版印刷版における支持体として用いるためのアルミニウム箔の製造法| JP2007114689A|2005-10-24|2007-05-10|Fuji Xerox Co Ltd|芯体金型、芯体金型の製造方法および芯体金型を用いたシームレス管状体の製造方法| JP2011519392A|2008-03-14|2011-07-07|ポステックアカデミー−インダストリーファンデーション|浸漬法を利用した疎水性表面を有する3次元形状構造物の製造方法|KR20160080438A|2014-12-29|2016-07-08|부산대학교 산학협력단|초소수성 시트 및 이의 제조 방법|JPS5517507B2|1972-06-29|1980-05-12||| JPS5835742A|1981-08-21|1983-03-02|Victor Co Of Japan Ltd|Manufacture for stamper used for manufacture of information recording medium disc| US4619804A|1985-04-15|1986-10-28|Eastman Kodak Company|Fabricating optical record media| US4923572A|1988-09-29|1990-05-08|Hallmark Cards, Incorporated|Image transfer tool| JPH10278277A|1997-04-10|1998-10-20|Brother Ind Ltd|ノズルプレートおよびその製造方法| JPH10287277A|1997-04-17|1998-10-27|Daihatsu Motor Co Ltd|自動車の車体フロア補強構造| DE10064520A1|2000-12-22|2002-07-04|Daimler Chrysler Ag|Verfahren zur Herstellung von selbstreinigenden Oberflächenstrukturen| CN1278874C|2002-05-08|2006-10-11|雷恩哈德库兹两合公司|装饰三维的大的塑料物体的方法| US7195732B2|2002-09-18|2007-03-27|Ricoh Optical Industries Co., Ltd.|Method and mold for fabricating article having fine surface structure| KR100742696B1|2004-10-28|2007-07-25|학교법인 포항공과대학교|미세요철을 갖는 고체 기재의 표면 가공방법 및 이방법으로 표면 처리된 고체 기재| US20060270229A1|2005-05-27|2006-11-30|General Electric Company|Anodized aluminum oxide nanoporous template and associated method of fabrication| US20090317590A1|2006-07-05|2009-12-24|Postech Academy-Industry Foundation|Method for fabricating superhydrophobic surface and solid having superhydrophobic surface structure by the same method|KR101260455B1|2011-07-21|2013-05-07|포항공과대학교 산학협력단|극소수성 표면 가공 방법 및 극소수성 표면을 가지는 증발기| CN106319599A|2016-08-31|2017-01-11|黄山天马铝业有限公司|一种高效疏水铝箔及其制备方法| KR102094827B1|2018-04-02|2020-03-30|포항공과대학교 산학협력단|소유성 필터 및 그 제조방법과 이를 이용한 오일 세퍼레이터|
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